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???????????????????? Capacitive???????????????????????????????????????????????????????????????????????????。???????????????????????????????????????,??????????????????????????????????????????????????????。?????????????????????????????????????????????????????,???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????。
(1)??????????????????????????? Capacitive ??????????????????????:???????????????????????,?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????。??????????????????????????????????????????????????????,但其靈敏度相對較低。
(2)??????????????????????? Capacitive Displacement Transducer:????????????????????????????????????????????????,也可以用于角度位移測量。通過改變板???面積,可以改變電容???值,從而實(shí)現(xiàn)對位移???測量。
(3)變介質(zhì)型???????????????????? Capacitive:???????????????????????????????????????????????,具有良好???線性特性,但輸入/輸出之間存在非線性關(guān)系。?????????????????????????????????????,可以改變電容???值,從而實(shí)現(xiàn)對位移???測量。
(4)容柵式電容位移?????????:????????????????????????????????????????????????????????????????????????。????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????。??????????????????????????????????????????????????????,該?????????具有高分辨率、高精度和較大???測量范圍,???????????????????????????????????????????????????????????????????,????????????????????????????。
????????????,??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????,包括具有變極距型、變極板面積、變介質(zhì)型和容柵式四種????型。??????????????????????????????????????????????????????????????,可以廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域,??????????????????????????????、儀器儀表和機(jī)器人技術(shù)等。?????????????????????????????????????????????????????,????????????????????????????????????????????????????,?????????????????????????????????????????????????????? ???????。